(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 4.8(22)申请日 2021.11.04(73)专利权人 梅州市杲江鸿科技有限公司地址 514000 广东省梅州市高新技术产业园区（东升生态工业园）(72)发明人 付亚运(74)专利署理组织 广州浩泰知识产权署理有限公司 44476专利署理师 张金昂(51)Int.Cl.G03F 7/20 (2006.01) (54)实用新型称号一种曝光机的冷却系统(57)摘要本实用新型揭露的归于曝光机冷却术范畴，详细为一种曝光机的冷却系统，其包含：曝光机主体；冷却组件，包含冷却室、制冷管、榜首衔接收、水泵、第三衔接收、导热杆和报...
(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 4.8(22)申请日 2021.11.04(73)专利权人 梅州市杲江鸿科技有限公司地址 514000 广东省梅州市高新技术产业园区（东升生态工业园）(72)发明人 付亚运(74)专利署理组织 广州浩泰知识产权署理有限公司 44476专利署理师 张金昂(51)Int.Cl.G03F 7/20 (2006.01) (54)实用新型称号一种曝光机的冷却系统(57)摘要本实用新型揭露的归于曝光机冷却术范畴，详细为一种曝光机的冷却系统，其包含：曝光机主体；冷却组件，包含冷却室、制冷管、榜首衔接收、水泵、第三衔接收、导热杆和报警器，所述冷却室装置在曝光机主体的一侧，所述冷却室的内部一侧装置有制冷室，所述制冷室的内部装置有制冷管，所述制冷室的底端衔接有榜首衔接收，所述榜首衔接收上装置有流量感应器，所述榜首衔接收的底端衔接有水泵，所述水泵的一侧衔接有第二衔接收。该曝光机的冷却系统，可以更充沛的使用冷却水的换热功能，在冷却水吸收热量到达某些特定的程度后，再敞开制冷管进行制冷，下降了制冷管的上班时间，大大下降能耗。权利要求书1页 说明书4页 附图2页CN 216696981 U2022.06.07CN 216696981 U